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佳能出問題 將導(dǎo)致面板六代線難產(chǎn)？

    第六代液晶面板生產(chǎn)線（6代線）又遇到了新的難題，曝光作為面板生產(chǎn)中重要的一環(huán)，最近又顯露出技術(shù)上的瓶頸，這甚至直接影響到全球數(shù)條6代線的量產(chǎn)，由此將波及大尺寸LCD以及液晶電視的進(jìn)一步普及……

    最近，Canon曝光機(jī)臺傳出設(shè)計(jì)不良的問題，雖然Canon尚未對此進(jìn)行進(jìn)一步的澄清與說明，但是韓國法人圈已經(jīng)傳出三星（Samsung）七代廠以及樂金飛利浦（LG.Philips LCD）六代廠產(chǎn)能開出時(shí)程將因此延后。臺灣面板廠包含友達(dá)、奇美、華映、廣輝的裝機(jī)時(shí)程雖然沒有受到影響，但是事實(shí)上，因?yàn)槲宕陨厦姘逶O(shè)備機(jī)臺設(shè)計(jì)難度提高不少，因此也為2005年各家六代廠產(chǎn)能開出狀況添增了許多變數(shù)。

　   據(jù)了解，目前除了夏普（Sharp）的六代廠是全數(shù)采用尼康（Nikon）的曝光機(jī)臺外，三星的七代廠、LG.Philips的六代廠、友達(dá)的六代廠、奇美的5.5代廠、廣輝的六代廠也都有采用一部分Canon的機(jī)臺，由于各家設(shè)備組合并不相同，裝機(jī)時(shí)程也不相同，加上各家廠商工程師在技術(shù)能力水準(zhǔn)上的差異，因此對于各家面板廠造成的影響程度也不盡相同。不過若機(jī)臺設(shè)備的技術(shù)問題沒有及時(shí)解決，必然或多或少會影響2005年次世代面板廠的產(chǎn)能貢獻(xiàn)度。

　   事實(shí)上，次世代面板廠由于面板基版尺寸放大，對于量產(chǎn)設(shè)備技術(shù)造成的挑戰(zhàn)是要比想象中還來得多且復(fù)雜，Canon的曝光機(jī)問題便是其中一例。曝光機(jī)臺有兩種主要的設(shè)計(jì)，一種為接觸式，另一種則為投影式，各有優(yōu)缺點(diǎn)。接觸式的優(yōu)點(diǎn)是較為精準(zhǔn)，但是光罩尺寸無法做得很大，因此，一般是用在實(shí)驗(yàn)線或者是小尺寸生產(chǎn)線，而投影式相對而言，比較容易往大尺寸方面發(fā)展，因此Nikon和Canon在五代以上都有開發(fā)投影式的曝光機(jī)臺。

　   然而光罩做得再大，最多也只能做到約19英寸左右，因此大尺寸的面板曝光就必需要用拼接的方式，也因此同一片面板每一次曝光的區(qū)塊之間，接縫是否能處理得宜變成了重要的課題，尤其以大尺寸的液晶電視（LCD TV）面板來說，倘若接縫處重復(fù)曝光的情形嚴(yán)重，那么做出來的LCD TV面板品質(zhì)太差就只得報(bào)廢了。

　   五代以上的玻璃基板尺寸巨大，因此曝光就必須要采取多次曝光拼接的方式，而在這一個(gè)部分，Nikon與Canon所采用的技術(shù)便不相同，Nikon是將光罩固定，移動玻璃基板以進(jìn)行曝光，但是Canon則是以滑軌的方式，讓光罩移動進(jìn)行曝光。而根據(jù)面板廠工程師表示，由于在無塵室當(dāng)中，只要有一個(gè)小小的微粒出現(xiàn)在滑軌上，就會影響對位的精準(zhǔn)度，造成曝光的偏差，因此在調(diào)整上就要花費(fèi)相當(dāng)大的功夫。

　   也因此，曝光機(jī)臺的問題暴露出次世代面板廠量產(chǎn)設(shè)備技術(shù)上所遭遇到的技術(shù)瓶頸，也顯示次世代面板廠并不是砸錢下去就會有快速的效益回收。同時(shí)，曝光機(jī)臺的技術(shù)難題，也點(diǎn)出了未來大尺寸LCD TV面板在量產(chǎn)良率的提升速度上，可能會比原先預(yù)期的要來得慢些。

　   另外，發(fā)生技術(shù)性問題的曝光機(jī)臺是產(chǎn)品型號「MPA-8000」系列機(jī)種，根據(jù)Canon的說法，該機(jī)種因使用規(guī)格外的零組件，無法發(fā)揮該設(shè)備的最大效能，可能對產(chǎn)品品質(zhì)有所影響，因此將進(jìn)行零組件更換與修護(hù)。

　   Canon表示自2004年7月后，該系列機(jī)種出貨量約30臺，目前尚不確定其中有幾臺出問題。此外，Canon估計(jì)所有發(fā)生問題機(jī)臺的零組件更換、維修需3～4個(gè)月時(shí)間。

　   「MPA-8000」系列曝光機(jī)臺主要用于生產(chǎn)尺寸大小為1870×2200mm的七代玻璃基板；而同系列機(jī)種尚有生產(chǎn)尺寸大小為1,500×1,800mm的六代玻璃基板用機(jī)種。Canon表示，為徹底檢測產(chǎn)品，2005 年2月前，六、七代曝光機(jī)將暫停出貨。

    據(jù)了解，Canon預(yù)估2004年度曝光機(jī)銷售目標(biāo)為104臺，該公司公關(guān)部門表示，機(jī)臺發(fā)生技術(shù)性問題事件，將不影響該銷售目標(biāo)，且對于Canon的業(yè)績影響亦不大。